一種化學(xué)機(jī)械拋光液

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911320533.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113004797A 公開(kāi)（公告）日 2021-06-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN113004797A 申請(qǐng)公布日 2021-06-22
分類號(hào) C09G1/02（2006.01）I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹(shù)脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 李守田;任曉明;賈長(zhǎng)征 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安集微電子（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京大成律師事務(wù)所 代理人 李佳銘;王芳
地址 201203上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)碧波路889號(hào)1幢E座第1至第2層，以及第3層的部分區(qū)域
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種化學(xué)機(jī)械拋光液，所述化學(xué)機(jī)械拋光液包含水、氧化鈰、聚季氨鹽、含苯環(huán)的羧酸、以及聚乙烯胺。只有聚季氨鹽、含苯環(huán)的羧酸、聚乙烯胺三者一起使用，才會(huì)實(shí)現(xiàn)真正意義的自動(dòng)停止功能，在空白片具有較低的拋光速率，而在圖案化硅片的高的臺(tái)階高度時(shí)保持高的拋光速率，臺(tái)階高度越低時(shí)拋光速度抑制得越好，從而實(shí)現(xiàn)自動(dòng)停止的功能。