一種化學(xué)機械拋光液

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911320533.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113004797A 公開（公告）日 2021-06-22
申請公布號 CN113004797A 申請公布日 2021-06-22
分類號 C09G1/02（2006.01）I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 李守田;任曉明;賈長征 申請（專利權(quán)）人 安集微電子（上海）有限公司
代理機構(gòu) 北京大成律師事務(wù)所 代理人 李佳銘;王芳
地址 201203上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)碧波路889號1幢E座第1至第2層，以及第3層的部分區(qū)域
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種化學(xué)機械拋光液，所述化學(xué)機械拋光液包含水、氧化鈰、聚季氨鹽、含苯環(huán)的羧酸、以及聚乙烯胺。只有聚季氨鹽、含苯環(huán)的羧酸、聚乙烯胺三者一起使用，才會實現(xiàn)真正意義的自動停止功能，在空白片具有較低的拋光速率，而在圖案化硅片的高的臺階高度時保持高的拋光速率，臺階高度越低時拋光速度抑制得越好，從而實現(xiàn)自動停止的功能。