一種化學(xué)機(jī)械拋光液

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911320536.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113004798A 公開(kāi)（公告）日 2021-06-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN113004798A 申請(qǐng)公布日 2021-06-22
分類(lèi)號(hào) C09G1/02（2006.01）I 分類(lèi) 染料；涂料；拋光劑；天然樹(shù)脂；黏合劑；其他類(lèi)目不包含的組合物；其他類(lèi)目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 李守田;任曉明;賈長(zhǎng)征 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 安集微電子（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京大成律師事務(wù)所 代理人 李佳銘;王芳
地址 201203上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)碧波路889號(hào)1幢E座第1至第2層，以及第3層的部分區(qū)域
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種化學(xué)機(jī)械拋光液，所述化學(xué)機(jī)械拋光液包含水、氧化鈰研磨顆粒和羥胺?；瘜W(xué)機(jī)械拋光液還可通過(guò)進(jìn)一步添加4?羥基苯甲酸或水楊羥肟酸可以提高圖案化二氧化硅片的去除速率。