一種化學機械拋光液

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911327371.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113004800A 公開（公告）日 2021-06-22
申請公布號 CN113004800A 申請公布日 2021-06-22
分類號 C09G1/02（2006.01）I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 郁夏盈;王晨;何華鋒;李星;史經(jīng)深 申請（專利權(quán)）人 安集微電子（上海）有限公司
代理機構(gòu) 北京大成律師事務(wù)所 代理人 李佳銘;王芳
地址 201203上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)碧波路889號1幢E座第1至第2層，以及第3層的部分區(qū)域
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種化學機械拋光液，包括：研磨顆粒、催化劑、穩(wěn)定劑、交聯(lián)大分子表面缺陷抑制劑、氧化劑、水和pH調(diào)節(jié)劑。本申請的化學機械拋光液實現(xiàn)了同時拋光鎢、氧化硅和氮化硅，保證高的鎢的拋光速度的同時兼具中等的氧化硅速度和低的氮化硅速度，大大降低了拋光后氮化硅表面的表面缺陷，實現(xiàn)快速平坦化。