一種滾筒式攪拌式清洗硅片裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201821784911.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN209406962U 公開（公告）日 2019-09-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN209406962U 申請(qǐng)公布日 2019-09-20
分類號(hào) B08B3/08（2006.01）I; B08B3/10（2006.01）I; B08B3/12（2006.01）I; B08B13/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 汪偉華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江羿陽(yáng)材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 浙江永鼎律師事務(wù)所 代理人 陸永強(qiáng)
地址 313200 浙江省湖州市莫干山高新區(qū)武康鎮(zhèn)長(zhǎng)虹中街339號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種滾筒式攪拌式清洗硅片裝置，包括底座，所述底座上固定設(shè)有攪拌箱，所述攪拌箱下設(shè)有空腔一，所述攪拌箱的側(cè)壁內(nèi)開設(shè)有空腔二，所述空腔二內(nèi)填充有導(dǎo)熱介質(zhì)，所述導(dǎo)熱介質(zhì)內(nèi)設(shè)有若干加熱棒，所述攪拌箱設(shè)有封蓋，所述攪拌箱內(nèi)設(shè)有凹槽，所述凹槽內(nèi)設(shè)有轉(zhuǎn)盤，所述轉(zhuǎn)盤上固定設(shè)有立柱，所述立柱周圍與所述轉(zhuǎn)盤之間固定設(shè)有攪拌擋板，所述攪拌擋板遠(yuǎn)離所述立柱的一側(cè)中部固定設(shè)有攪拌桿。有益效果：相較于普通的浸泡清洗，針對(duì)性的清潔，增加了清洗的潔凈度和清洗效率。增加了去除有機(jī)污染物的力度。通過在空腔一內(nèi)設(shè)有超聲波發(fā)生器，使得攪拌箱內(nèi)的硅片在經(jīng)受攪拌清洗外，增加超聲波清洗，雙重清洗，進(jìn)一步的增加清洗的力度。