超結(jié)終端結(jié)構(gòu)及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710294316.X 申請日 -
公開（公告）號 CN107093626A 公開（公告）日 2017-08-25
申請公布號 CN107093626A 申請公布日 2017-08-25
分類號 H01L29/06(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張廣銀;朱陽軍 申請（專利權(quán)）人 北京芯長征科技有限公司
代理機構(gòu) 蘇州國誠專利代理有限公司 代理人 北京芯長征科技有限公司;貴州芯長征科技有限公司;南京芯長征科技有限公司
地址 100026 北京市朝陽區(qū)朝陽北路225號18層（團結(jié)湖孵化器0561號）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種超結(jié)終端結(jié)構(gòu)及其制備方法，其終端超結(jié)包括第二導(dǎo)電類型主結(jié)以及若干呈交替分布的第一導(dǎo)電類型柱與第二導(dǎo)電類型柱；第一導(dǎo)電類型柱的寬度沿第二導(dǎo)電類型主結(jié)指向終端區(qū)域邊緣方向逐漸增大；在第二導(dǎo)電類型主結(jié)的外圈設(shè)有至少一個第二導(dǎo)電類型場限環(huán)，所述第二導(dǎo)電類型場限環(huán)在第一導(dǎo)電類型外延層內(nèi)位于一第二導(dǎo)電類型柱的頂端；在第二導(dǎo)電類型場限環(huán)上設(shè)置場板，所述場板覆蓋在第二導(dǎo)電類型場限環(huán)上，并覆蓋第二導(dǎo)電類型場限環(huán)側(cè)上方的保護層上，所述保護層設(shè)置于第一主面上。本發(fā)明結(jié)構(gòu)緊湊，與現(xiàn)有工藝兼容，在滿足耐壓的情況下，既節(jié)約了芯片面積，有降低了工藝成本，安全可靠。