一種非機(jī)械接觸式磁致原位超聲振動(dòng)的化學(xué)機(jī)械拋光方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110724646.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113231958A 公開（公告）日 2021-08-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN113231958A 申請(qǐng)公布日 2021-08-10
分類號(hào) B24B37/10（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I;B24B1/00（2006.01）I;B24B1/04（2006.01）I;C09G1/02（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 張新宇 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無錫興華衡輝科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無錫市匯誠(chéng)永信專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 曹慧萍
地址 214000江蘇省無錫市新吳區(qū)長(zhǎng)江南路35-322號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種非機(jī)械接觸式磁致原位超聲振動(dòng)的化學(xué)機(jī)械拋光方法。本發(fā)明采用含有鐵磁性顆粒的化學(xué)機(jī)械拋光液，并在基材待拋光表面的上下兩側(cè)分別設(shè)置覆蓋拋光表面區(qū)域的周期性的交替磁場(chǎng)，通過非接觸的電磁感應(yīng)方式作用于拋光液內(nèi)的鐵磁性顆粒，使鐵磁性顆粒產(chǎn)生高頻振動(dòng)，同時(shí)帶動(dòng)拋光液中的磨料作用于拋光表面。本發(fā)明解決了現(xiàn)有的機(jī)械接觸式超聲振動(dòng)輔助化學(xué)機(jī)械拋光方法中存在的一些技術(shù)問題，如超聲波振動(dòng)需要通過機(jī)械接觸傳導(dǎo)到拋光表面、結(jié)構(gòu)復(fù)雜、振動(dòng)傳導(dǎo)效率低，且需要進(jìn)行機(jī)械結(jié)構(gòu)振動(dòng)模態(tài)匹配等工作。