一種多級導(dǎo)流結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體硅晶片清洗工裝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023101044.3 申請日 -
公開（公告）號 CN214012908U 公開（公告）日 2021-08-20
申請公布號 CN214012908U 申請公布日 2021-08-20
分類號 H01L21/67（2006.01）I;F16M3/00（2006.01）I;F16M7/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李東曉 申請（專利權(quán)）人 無錫興華衡輝科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 聶啟新
地址 214000江蘇省無錫市新吳區(qū)長江南路35-322號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及半導(dǎo)體硅晶片清洗技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種多級導(dǎo)流結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體硅晶片清洗工裝，包括支架、支撐塊和箱體，所述支架與支撐塊固定連接，所述支撐塊右側(cè)頂端設(shè)有電機(jī)，所述電機(jī)與支架固定連接，所述電機(jī)主軸末端固定連接有小齒輪，所述小齒輪外側(cè)嚙合連接有大齒輪，本實用新型中，通過設(shè)置的IPA液體罐、水泵和箱體，這種設(shè)置配合IPA液體罐與水泵固定連接和水泵與箱體固定連接，可以使IPA液體在下面通過加熱管進(jìn)行加熱，加熱后的IPA蒸汽冷凝在清洗工件表面，工件通過清洗籃進(jìn)行提升，再經(jīng)過風(fēng)機(jī)吹風(fēng)就能蒸發(fā)掉表面冷凝的IPA液體，完成清洗，這樣就能避免弱酸的酸化腐蝕，大大提高了電子元器件的使用壽命。