一種具有電子注入層的深紫外發(fā)光二極管外延結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023014063.2 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN213958983U 公開(公告)日 2021-08-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN213958983U 申請(qǐng)公布日 2021-08-13
分類號(hào) H01L33/32(2010.01)I;H01L33/14(2010.01)I;H01L33/06(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 寇建權(quán) 申請(qǐng)(專利權(quán))人 天津賽米卡爾科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津創(chuàng)信方達(dá)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 李京京
地址 300385天津市西青區(qū)西青經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)賽達(dá)新興產(chǎn)業(yè)園C座7層707室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型為一種具有電子注入層的深紫外發(fā)光二極管外延結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)主體為沿著外延生長(zhǎng)方向依次包括襯底、緩沖層、N?型半導(dǎo)體傳輸層、電子注入層、多量子阱層、P?型電流阻擋層、P?型半導(dǎo)體傳輸層和P?型重?fù)诫s半導(dǎo)體傳輸層。其中,電子注入層通過(guò)AIN組分和摻雜濃度來(lái)精確調(diào)控N?型AlGaN層內(nèi)極化電場(chǎng)和耗盡電場(chǎng),從而降低電子注入有源區(qū)時(shí)的能量,提高量子阱對(duì)電子的捕獲能力,使器件性能得到大幅提升,且材料生長(zhǎng)難度低,可重復(fù)性強(qiáng)。