太赫茲探測裝置的制造方法及探測設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111335830.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113782644A 公開（公告）日 2021-12-10
申請公布號 CN113782644A 申請公布日 2021-12-10
分類號 H01L31/18（2006.01）I;H01L31/0232（2014.01）I;G01J1/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 趙自然;姜壽祿;馬旭明 申請（專利權(quán)）人 北京神目科技有限公司
代理機構(gòu) 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 代理人 張琛
地址 100084北京市海淀區(qū)雙清路同方大廈A座2層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種太赫茲探測裝置的制造方法和探測設(shè)備，可以應(yīng)用于太赫茲檢測技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明實施例的太赫茲探測裝置包括呈陣列排布的檢測器和透鏡，該制造方法包括：通過雙面光刻工藝在襯底基板的第一表面的第一區(qū)域光刻出多個檢測器，形成檢測器陣列，在襯底基板的第一表面的第二區(qū)域設(shè)置至少一個第一對準(zhǔn)標(biāo)記；通過雙面光刻工藝在襯底基板的第二表面的第三區(qū)域光刻出多個透鏡安裝部，在襯底基板的第二表面的第四區(qū)域設(shè)置至少一個第二對準(zhǔn)標(biāo)記；將透鏡安裝至透鏡安裝部以形成探測裝置；通過雙面光刻機將第一對準(zhǔn)標(biāo)記與第二對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行對準(zhǔn)，以使檢測器的中心與透鏡安裝部的中心的偏移量在設(shè)定閾值，有效提高透鏡與檢測器的安裝精度。