探測(cè)頻段可調(diào)的太赫茲探測(cè)裝置及制造方法、成像設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111335814.7 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN113782666A 公開(公告)日 2021-12-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN113782666A 申請(qǐng)公布日 2021-12-10
分類號(hào) H01L39/02(2006.01)I;H01L39/24(2006.01)I;G01J1/42(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 趙自然;姜壽祿;馬旭明 申請(qǐng)(專利權(quán))人 北京神目科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 代理人 張琛
地址 100084北京市海淀區(qū)雙清路同方大廈A座2層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種探測(cè)頻段可調(diào)的太赫茲探測(cè)裝置及制造方法、太赫茲成像設(shè)備,可以應(yīng)用于太赫茲?rùn)z測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。該探測(cè)頻段可調(diào)的太赫茲探測(cè)裝置,包括:襯底基板,具有相對(duì)設(shè)置的第一表面和第二表面;檢測(cè)器,設(shè)置在襯底基板的第一表面,用于檢測(cè)第一頻段范圍的太赫茲信號(hào);可調(diào)諧濾波器,設(shè)置在襯底基板的第二表面,用于對(duì)第一頻段范圍的太赫茲信號(hào)進(jìn)行濾波,使檢測(cè)器檢測(cè)到第二頻段范圍的太赫茲信號(hào),第二頻段范圍通過加載在可調(diào)諧濾波器的偏置電壓進(jìn)行調(diào)節(jié),以使第二頻段范圍在第一頻段范圍內(nèi)變化。能夠解決在增加太赫茲探測(cè)頻段的情況下,不增加檢測(cè)器數(shù)量,保證檢測(cè)的可靠性,同時(shí)節(jié)約硬件成本。