探測頻段可調(diào)的太赫茲探測裝置及制造方法、成像設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111335814.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113782666A 公開（公告）日 2021-12-10
申請公布號 CN113782666A 申請公布日 2021-12-10
分類號 H01L39/02（2006.01）I;H01L39/24（2006.01）I;G01J1/42（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 趙自然;姜壽祿;馬旭明 申請（專利權(quán)）人 北京神目科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 代理人 張琛
地址 100084北京市海淀區(qū)雙清路同方大廈A座2層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種探測頻段可調(diào)的太赫茲探測裝置及制造方法、太赫茲成像設(shè)備，可以應(yīng)用于太赫茲檢測技術(shù)領(lǐng)域。該探測頻段可調(diào)的太赫茲探測裝置，包括：襯底基板，具有相對設(shè)置的第一表面和第二表面；檢測器，設(shè)置在襯底基板的第一表面，用于檢測第一頻段范圍的太赫茲信號；可調(diào)諧濾波器，設(shè)置在襯底基板的第二表面，用于對第一頻段范圍的太赫茲信號進(jìn)行濾波，使檢測器檢測到第二頻段范圍的太赫茲信號，第二頻段范圍通過加載在可調(diào)諧濾波器的偏置電壓進(jìn)行調(diào)節(jié)，以使第二頻段范圍在第一頻段范圍內(nèi)變化。能夠解決在增加太赫茲探測頻段的情況下，不增加檢測器數(shù)量，保證檢測的可靠性，同時(shí)節(jié)約硬件成本。