膜片式薄膜壓力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510504679.2 申請日 -
公開（公告）號 CN105136376A 公開（公告）日 2015-12-09
申請公布號 CN105136376A 申請公布日 2015-12-09
分類號 G01L9/04(2006.01)I;G01L19/04(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 雷衛(wèi)武;鄧躍民 申請（專利權(quán)）人 州際科技實(shí)業(yè)有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 333200 江西省婺源縣工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種膜片式薄膜壓力傳感器，包括一個(gè)外殼體，一個(gè)焊接在所述外殼體底部中心的應(yīng)變膜片，一個(gè)固定于所述外殼體內(nèi)部的電路板，其特征在于，所述應(yīng)變膜片是采用4英寸或6英寸或10英寸的不銹鋼或鈦合金大片膜片材料，通過離子束濺射分別沉積絕緣膜、應(yīng)變膜、焊盤膜、保護(hù)膜，然后光刻形成惠斯通電橋電路后切割分離的。另外，大片膜片材料最薄可為0.03mm，可以制造50kPa小量程壓力傳感器產(chǎn)品。由于采用大片膜片材料批量化生產(chǎn)彈性體，生產(chǎn)效率高，生產(chǎn)成本低，并保留了薄膜壓力傳感器的優(yōu)良性能，克服了現(xiàn)有薄膜壓力傳感器的成本高、小量程產(chǎn)品生產(chǎn)困難的缺點(diǎn)，產(chǎn)品在軍工、民用等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。