用于直拉法生產(chǎn)單晶硅棒的單晶爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620721389.3 申請日 -
公開（公告）號 CN206736402U 公開（公告）日 2017-12-12
申請公布號 CN206736402U 申請公布日 2017-12-12
分類號 C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 陳五奎;劉強;付紅霞;黃振華;馮加保 申請（專利權）人 青海拓日新能源科技有限公司
代理機構 成都點睛專利代理事務所（普通合伙） 代理人 青海拓日新能源科技有限公司
地址 810007 青海省西寧市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)昆侖東路5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種能夠提高生產(chǎn)效率的用于直拉法生產(chǎn)單晶硅棒的單晶爐。該單晶爐通過在氬氣管上設置有流量控制閥，可以隨著單晶硅拉制的不斷進行，在保證晶棒不被氧化的前提下，通過調節(jié)流量控制閥，逐漸減小氬氣的供應量，從而節(jié)約氬氣，同時，氬氣的供應量減小還避免了氬氣進入單晶爐后再從抽氣孔中排出的過程中帶走大量的熱量，可以大大降低加熱器的能耗，實現(xiàn)節(jié)能減排，另外，所述流量控制閥上連接有控制開關，所述控制開關上連接有計時器，通過預先設定計時器的時間，當計時器到達設定的時間，控制開關工作，進而對流量控制閥進行調節(jié)，整個過程無需工人進行現(xiàn)場監(jiān)控，大大降低了工人的勞動強度。適合在單晶生產(chǎn)設備領域推廣應用。