一種單晶爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201620725534.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN206902281U 公開（公告）日 2018-01-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN206902281U 申請(qǐng)公布日 2018-01-19
分類號(hào) C30B15/00 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 陳五奎;劉強(qiáng);付紅霞;黃振華;馮加保 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 青海拓日新能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都點(diǎn)睛專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 青海拓日新能源科技有限公司
地址 810007 青海省西寧市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)昆侖東路5號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種單晶爐。該單晶爐通過在進(jìn)氣管上設(shè)置氣體預(yù)熱裝置，氣體預(yù)熱裝置可以對(duì)進(jìn)入爐體內(nèi)的氬氣進(jìn)行加熱，避免溫度較低的氬氣進(jìn)入爐體內(nèi)對(duì)爐體內(nèi)的溫度造成較大的影響，在單晶爐工作的過程中，可以保證爐體內(nèi)的溫度保持在一個(gè)穩(wěn)定的范圍內(nèi)，避免對(duì)晶棒的生長造成較大的影響，保證最后長成的硅棒質(zhì)量達(dá)到較高的質(zhì)量水平，另外，利用抽氣泵將抽氣孔排出的高溫廢氬氣通過引氣管導(dǎo)入空腔內(nèi)，利用高溫廢氬氣對(duì)新的氬氣進(jìn)行預(yù)熱，不但可以充分利用高溫廢氬氣中含有的熱量，實(shí)現(xiàn)節(jié)能減排，同時(shí)，被預(yù)熱的氬氣通入爐體內(nèi)，可以減少氬氣帶走爐體內(nèi)的熱量，進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)節(jié)能減排。適合在單晶生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域推廣應(yīng)用。