一種微反射鏡結構及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201010197292.4 申請日 -
公開（公告）號 CN101881880A 公開（公告）日 2010-11-10
申請公布號 CN101881880A 申請公布日 2010-11-10
分類號 G02B26/08(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I 分類 光學;
發(fā)明人 楊擁軍;徐永青;陳愿勤 申請（專利權）人 中山市張家邊企業(yè)集團有限公司企業(yè)技術中心
代理機構 廣州新諾專利商標事務所有限公司 代理人 華輝
地址 528436 廣東省中山市火炬開發(fā)區(qū)康樂大道51號西三樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種微反射鏡結構及其制造方法。所述微反射鏡結構包括玻璃襯底和硅片，所述硅片具有平行的上平面層和下平面層，一鏡面支撐柱設置在上下平面層中心并與其一體連接；所述上平面層形成反射鏡面，所述下平面層形成硅驅動極板、鍵合錨點以及扭梁，所述扭梁的一端與硅驅動極板連接，另一端與鍵合錨點連接；所述硅片與玻璃襯底通過所述鍵合錨點鍵合。相對于現(xiàn)有技術，本發(fā)明的微反射鏡制造方法制造的成品具有低驅動電壓且微反射鏡的鏡面采用硅片原始拋光鏡面，光潔度高，同時工藝簡單，成本低。