一種微反射鏡結(jié)構(gòu)及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201010197292.4 申請日 -
公開（公告）號 CN101881880A 公開（公告）日 2010-11-10
申請公布號 CN101881880A 申請公布日 2010-11-10
分類號 G02B26/08(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 楊擁軍;徐永青;陳愿勤 申請（專利權(quán)）人 中山市張家邊企業(yè)集團(tuán)有限公司企業(yè)技術(shù)中心
代理機(jī)構(gòu) 廣州新諾專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 華輝
地址 528436 廣東省中山市火炬開發(fā)區(qū)康樂大道51號西三樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種微反射鏡結(jié)構(gòu)及其制造方法。所述微反射鏡結(jié)構(gòu)包括玻璃襯底和硅片，所述硅片具有平行的上平面層和下平面層，一鏡面支撐柱設(shè)置在上下平面層中心并與其一體連接；所述上平面層形成反射鏡面，所述下平面層形成硅驅(qū)動極板、鍵合錨點(diǎn)以及扭梁，所述扭梁的一端與硅驅(qū)動極板連接，另一端與鍵合錨點(diǎn)連接；所述硅片與玻璃襯底通過所述鍵合錨點(diǎn)鍵合。相對于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的微反射鏡制造方法制造的成品具有低驅(qū)動電壓且微反射鏡的鏡面采用硅片原始拋光鏡面，光潔度高，同時工藝簡單，成本低。