晶體硅太陽(yáng)能電池用洗磷溶液及其制造、使用方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201010272931.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN102383137A 公開（公告）日 2012-03-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN102383137A 申請(qǐng)公布日 2012-03-21
分類號(hào) C23G1/02(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 嚴(yán)瓊林 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海泰陽(yáng)綠色能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海漢聲知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 上海交大泰陽(yáng)綠色能源有限公司
地址 200240 上海市閔行區(qū)劍川路951號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種晶體硅太陽(yáng)能電池用洗磷溶液，主要由氫氟酸(HF)以及去離子水組成，所述氫氟酸(HF)中添加表面活性劑，且該三種組分重量配比是：氫氟酸(HF)7％-15％，表面活性劑5-100ppm，去離子水85％-95％；上述洗磷溶液的制造方法是：先將去離子水加入容器中，緩慢加入氫氟酸(HF)和表面活性劑，攪拌5-10min，使其完全溶解；上述洗磷溶液的使用方法是：將表面殘留有雜質(zhì)的硅片浸入所述的洗磷溶液中，溫度為常溫，時(shí)間為1-3分鐘，然后用鹽酸清洗后再用去離子水清洗。本發(fā)明所公開的洗磷溶液，能有效處理擴(kuò)散后硅片表面的磷硅玻璃(PSG)及雜質(zhì)，使得硅片表面更為清潔，明顯提高太陽(yáng)能電池的電性能。