一種硅片激光與堿液結(jié)合制絨工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201711059127.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109755102B 公開(kāi)（公告）日 2021-08-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN109755102B 申請(qǐng)公布日 2021-08-10
分類號(hào) H01L21/02;H01L21/268;C30B33/10;C30B33/04 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李亞哲;黃志煥;徐長(zhǎng)坡;陳澄;梁效峰;楊玉聰;王曉捧;王宏宇;王鵬 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 TCL環(huán)鑫半導(dǎo)體（天津）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津諾德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 欒志超
地址 300380 天津市西青區(qū)華苑產(chǎn)業(yè)區(qū)（環(huán)外）海泰東路12號(hào)A座二層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種硅片激光與堿液結(jié)合制絨工藝，包括以下步驟：S1：對(duì)擴(kuò)散后的硅片進(jìn)行激光制絨；S2：對(duì)激光制絨后的硅片進(jìn)行堿性溶液制絨。本發(fā)明的有益效果是采用按一定比例配置的玻璃腐蝕液去除擴(kuò)散后處理的硅片表面的磷、硼硅玻璃，為激光制絨做好準(zhǔn)備，采用激光制絨工藝，其制作過(guò)程簡(jiǎn)便快捷，且不受使用環(huán)境限制；通過(guò)激光制絨，在光滑的硅片表面形成凹凸不平的熔融多晶硅，提高硅片表面的粗糙度，且采用激光制絨，制絨步驟簡(jiǎn)單，設(shè)備投入成本少；通過(guò)堿性溶液對(duì)激光制絨后的硅片進(jìn)行濕法腐蝕，使得硅片表面的粗糙度進(jìn)一步增大，使得保護(hù)膠不易脫落，具有較大的附著力。