一種晶片的烘烤裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123439273.0 申請日 -
公開（公告）號 CN216448564U 公開（公告）日 2022-05-06
申請公布號 CN216448564U 申請公布日 2022-05-06
分類號 F26B15/18（2006.01）I;F26B23/00（2006.01）I;F26B25/00（2006.01）I 分類 干燥;
發(fā)明人 歐陽華;歐陽晟;曹鋒;陳煬;方宏森 申請（專利權(quán)）人 廣州晶優(yōu)電子科技有限公司
代理機構(gòu) 廣州潤禾知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 鄭永泉
地址 510663廣東省廣州市高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)香山路17號廠房B301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及石英晶片生產(chǎn)設備技術領域，更具體地，涉及一種晶片的烘烤裝置，包括加熱裝置、傳輸輥、基座平臺和傳輸帶，所述傳輸輥設置在基座平臺的兩側(cè)，所述傳輸帶設置在傳輸輥上，所述加熱裝置設置在基座平臺上；還包括收納盤支架，所述收納盤支架用于放置收納盤，所述傳輸帶上設有網(wǎng)狀孔，所述收納盤支架通過網(wǎng)狀孔與所述傳輸帶形成活動連接。在保證烘烤質(zhì)量的同時，提高烘烤的效率。