一種真空閥門
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020026135.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212155868U | 公開（公告）日 | 2020-12-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212155868U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-15 |
| 分類號(hào) | F16K3/18(2006.01)I | 分類 | 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱; |
| 發(fā)明人 | 廖海濤;孫文彬 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無(wú)錫市邑勉微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 常州唯思百得知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 無(wú)錫市邑勉微電子有限公司 |
| 地址 | 214000江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)金城東路333-1-801 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種真空閥門，包括門板部，傳動(dòng)部和支架部。門板部包括門板、門板固定桿、門板固定連接塊和門板軸桿連接件。傳動(dòng)部包括所述傳動(dòng)部包括傳動(dòng)軸、傳動(dòng)軸套筒、支架套筒、升降滑軌、彈性部件、連接凸輪、連接凸輪連接件和氣缸。支架部包括整體氣動(dòng)支架、氣缸支架，所述氣缸支架還包括氣缸側(cè)邊支架、氣缸U型支架和氣缸上端支架。整個(gè)傳動(dòng)部安裝在支架部上，傳動(dòng)部的上端和門板部固定連接。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)易，維修方便，不易產(chǎn)生污染。發(fā)生故障時(shí)可以鎖定裝置，保護(hù)產(chǎn)品和人身安全。?? |
