一種固定晶圓用靜電吸盤
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020126023.8 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211629057U | 公開（公告）日 | 2020-10-02 |
| 申請公布號(hào) | CN211629057U | 申請公布日 | 2020-10-02 |
| 分類號(hào) | H01L21/683(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 廖海濤;呂軍 | 申請（專利權(quán)）人 | 無錫市邑勉微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 常州唯思百得知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 無錫市邑勉微電子有限公司 |
| 地址 | 214000江蘇省無錫市新吳區(qū)金城東路333-1-801 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種固定晶圓用靜電吸盤，具有晶圓固定單元，晶圓固定單元包括底盤以及設(shè)置在底盤下端的電容盤，底盤和電容盤通過輔助安裝單元進(jìn)行定位安裝，電容盤內(nèi)設(shè)有冷卻通道，用于對其進(jìn)行冷卻，電容盤的下端面固定連接有位移單元，位移單元的輸出可貫穿晶圓固定單元帶動(dòng)晶圓升降。輔助安裝單元包括底盤上設(shè)置的兩個(gè)凹槽和電容盤上設(shè)置的2個(gè)凸起，凹槽與凸起位置相對應(yīng)設(shè)置，且凹槽與凸起互補(bǔ)設(shè)置。本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，提供一種便于安裝，且冷卻效果好的固定晶圓用的靜電吸盤。?? |
