一種雙晶圓反應(yīng)腔式去膠機(jī)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020069824.5 申請日 -
公開（公告）號 CN211629045U 公開（公告）日 2020-10-02
申請公布號 CN211629045U 申請公布日 2020-10-02
分類號 H01L21/67(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 廖海濤;王斌 申請（專利權(quán)）人 無錫市邑勉微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 常州唯思百得知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 無錫市邑勉微電子有限公司
地址 214000江蘇省無錫市新吳區(qū)金城東路333-1-801
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種雙晶圓反應(yīng)腔式去膠機(jī)，屬于清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括機(jī)架和固定架，所述機(jī)架頂部表面焊接有固定架，所述機(jī)架頂部表面一側(cè)安裝有第一清洗槽，所述第一清洗槽一側(cè)安裝有第二清洗槽，所述第一清洗槽和第二清洗槽內(nèi)腔底部表面均安裝有超聲波振板，所述固定架內(nèi)腔頂部表面安裝有步進(jìn)電機(jī)組，所述步進(jìn)電機(jī)組表面輸出端安裝有滑塊，所述滑塊底部表面安裝有連接板。本實用新型通過步進(jìn)電機(jī)組和電動伸縮桿相互配合，可將載有載有雙晶圓的清洗籃依次輸送至第一清洗槽、第二清洗槽和烘干槽中，從而能夠起到對雙晶圓進(jìn)行二次清洗和烘干處理，既能提高了工作效率，又能節(jié)省后期烘干的時間。??