一種雙晶圓反應(yīng)腔式去膠機(jī)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020069824.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211629045U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-10-02 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211629045U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-02 |
| 分類號(hào) | H01L21/67(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 廖海濤;王斌 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無(wú)錫市邑勉微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 常州唯思百得知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 無(wú)錫市邑勉微電子有限公司 |
| 地址 | 214000江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)金城東路333-1-801 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種雙晶圓反應(yīng)腔式去膠機(jī)，屬于清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括機(jī)架和固定架，所述機(jī)架頂部表面焊接有固定架，所述機(jī)架頂部表面一側(cè)安裝有第一清洗槽，所述第一清洗槽一側(cè)安裝有第二清洗槽，所述第一清洗槽和第二清洗槽內(nèi)腔底部表面均安裝有超聲波振板，所述固定架內(nèi)腔頂部表面安裝有步進(jìn)電機(jī)組，所述步進(jìn)電機(jī)組表面輸出端安裝有滑塊，所述滑塊底部表面安裝有連接板。本實(shí)用新型通過(guò)步進(jìn)電機(jī)組和電動(dòng)伸縮桿相互配合，可將載有載有雙晶圓的清洗籃依次輸送至第一清洗槽、第二清洗槽和烘干槽中，從而能夠起到對(duì)雙晶圓進(jìn)行二次清洗和烘干處理，既能提高了工作效率，又能節(jié)省后期烘干的時(shí)間。?? |
