一種等離子刻蝕機夾具基座

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020069794.8 申請日 -
公開(公告)號 CN211629035U 公開(公告)日 2020-10-02
申請公布號 CN211629035U 申請公布日 2020-10-02
分類號 H01J37/32(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 廖海濤;呂軍 申請(專利權(quán))人 無錫市邑勉微電子有限公司
代理機構(gòu) 常州唯思百得知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 無錫市邑勉微電子有限公司
地址 214000江蘇省無錫市新吳區(qū)金城東路333-1-801
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種等離子刻蝕機夾具基座,屬于等離子刻蝕機配件技術(shù)領(lǐng)域,包括支撐板,所述支撐板兩側(cè)壁底端位置一體成型有凸臺,所述凸臺表面對稱開設(shè)有螺紋孔,所述支撐板兩側(cè)壁靠近頂端位置固定連接有連桿,所述連桿自由端固定連接有手柄,所述支撐板上表面中間位置開設(shè)有凹槽,所述凹槽左右兩側(cè)均設(shè)有裝配槽,所述凹槽前后兩側(cè)對稱開設(shè)有滑槽,所述支撐板下表面中間位置開設(shè)有卡槽,所述支撐板下表面對稱開設(shè)有定位槽。本實用新型支撐板上表面的凹槽、裝配槽和滑槽,分別可以安裝不同種類的夾具,適用性廣泛,支撐板下表面的卡槽、定位槽和通孔,便于采用不同的方式對支撐板安裝固定,操作簡單,省時省力。??