一種干法去膠機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020069389.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212161771U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-12-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212161771U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-15 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/677(2006.01)I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 廖海濤;孫文彬 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 無(wú)錫市邑勉微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 常州唯思百得知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 無(wú)錫市邑勉微電子有限公司 |
| 地址 | 214000江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)金城東路333-1-801 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種干法去膠機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置，具有安裝座，安裝座的下端連接有電機(jī)安裝座，電機(jī)安裝座連接有升降電機(jī)，升降電機(jī)向安裝座的上端垂直延伸有升降絲桿，升降絲桿連接有第一驅(qū)動(dòng)裝置和第二驅(qū)動(dòng)裝置。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小，具有第一驅(qū)動(dòng)裝置和第二驅(qū)動(dòng)裝置，第一驅(qū)動(dòng)裝置的第一驅(qū)動(dòng)軸和第二驅(qū)動(dòng)裝置的第二驅(qū)動(dòng)軸共同協(xié)作驅(qū)動(dòng)機(jī)器手從片盒取片運(yùn)送給腔體，實(shí)現(xiàn)晶圓類(lèi)干法去膠機(jī)的自動(dòng)化。?? |
