一種等離子體刻蝕機(jī)用下電極屏蔽裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020069859.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211629037U | 公開（公告）日 | 2020-10-02 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211629037U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-02 |
| 分類號(hào) | H01J37/32(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 廖海濤;王斌 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無錫市邑勉微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 常州唯思百得知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 無錫市邑勉微電子有限公司 |
| 地址 | 214000江蘇省無錫市新吳區(qū)金城東路333-1-801 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種等離子體刻蝕機(jī)用下電極屏蔽裝置，包括安裝板和上蓋板，所述上蓋板位于安裝板正上方，所述安裝板和上蓋板表面均開設(shè)有縱向滑槽和橫向滑槽，所述橫向滑槽位于縱向滑槽一端，且縱向滑槽和橫向滑槽之間相互連通，所述安裝板和上蓋板兩側(cè)均開設(shè)有插扣槽，所述插扣槽內(nèi)均插扣安裝有封隔板，所述縱向滑槽內(nèi)滑動(dòng)安裝有滑扣，所述滑扣表面焊接有安裝架，本實(shí)用新型通過安裝板底端卡扣安裝的罩殼，可對(duì)等離子體刻蝕機(jī)的射頻電源匹配器進(jìn)行防護(hù)與信號(hào)屏蔽，通過安裝架兩側(cè)表面螺栓安裝的風(fēng)琴板，便利于利用風(fēng)琴板舒展性填補(bǔ)封隔板之間的間隙，從而起到提高屏蔽效果的功能。?? |
