一種干法去膠機(jī)頂針升降裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202020062537.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN212161784U 公開(kāi)(公告)日 2020-12-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN212161784U 申請(qǐng)公布日 2020-12-15
分類(lèi)號(hào) H01L21/687(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 廖海濤;孫文彬 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 無(wú)錫市邑勉微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 常州唯思百得知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 無(wú)錫市邑勉微電子有限公司
地址 214000江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)金城東路333-1-801
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種干法去膠機(jī)頂針升降裝置,包括安裝座,安裝座設(shè)有氣缸,氣缸連接有升降波紋裝置,升降波紋裝置連接有聯(lián)軸器,聯(lián)軸器固定連接有支撐板,支撐板左側(cè)和支撐板右側(cè)分別連接有頂針。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,拆卸、維護(hù)方便,設(shè)有升降波紋裝置能夠在真空環(huán)境下密封升降,升降波紋裝置連接有安裝于支撐板下方的聯(lián)軸器以及連接于安裝座的氣缸,傳遞動(dòng)力時(shí)一同運(yùn)動(dòng),防止支撐板和安裝座脫開(kāi),起過(guò)載保護(hù)維持平穩(wěn)的作用本實(shí)用新型支撐板設(shè)有鏡像對(duì)稱(chēng)的翼形部,翼形部設(shè)置對(duì)稱(chēng)的頂針,能夠使本實(shí)用新型在升降過(guò)程中保持平穩(wěn)。??