一種晶圓的旋轉(zhuǎn)升降傳送機(jī)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020026974.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212161770U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-12-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212161770U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-15 |
| 分類號(hào) | H01L21/677(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 廖海濤;孫文彬 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無(wú)錫市邑勉微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 常州唯思百得知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 無(wú)錫市邑勉微電子有限公司 |
| 地址 | 214000江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)金城東路333-1-801 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種晶圓旋轉(zhuǎn)升降傳送機(jī)構(gòu)。所述晶圓旋轉(zhuǎn)升降傳送機(jī)構(gòu)包括固定機(jī)臺(tái)、移動(dòng)機(jī)臺(tái)、升降機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述固定機(jī)臺(tái)固定安裝在制造設(shè)備上，所述移動(dòng)機(jī)臺(tái)在所述固定機(jī)臺(tái)上可以上下滑動(dòng)，所述升降機(jī)構(gòu)和所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)均安裝在所述移動(dòng)機(jī)臺(tái)上。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)較為簡(jiǎn)單，易于維護(hù)，占用空間少，并且可以同時(shí)完成旋轉(zhuǎn)和升降兩個(gè)傳送動(dòng)作。?? |
