一種用于硅片的表面清洗裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022464123.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214022332U 公開(kāi)（公告）日 2021-08-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN214022332U 申請(qǐng)公布日 2021-08-24
分類號(hào) B08B3/12（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 雷杰;周煒;王慶錢;楊大誼;周璁 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江西鈦創(chuàng)新能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江西九馳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李睿
地址 330096江西省南昌市南昌高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)尤口路1018號(hào)3棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及硅片加工領(lǐng)域，具體為一種用于硅片的表面清洗裝置，包括清洗槽，所述清洗槽的上側(cè)安裝有頂板，所述頂板的底部四角處均通過(guò)連桿和清洗槽的外壁固定連接。本實(shí)用新型通過(guò)放置框連通硅片在清洗槽內(nèi)移動(dòng)，同時(shí)通過(guò)超聲波發(fā)生器產(chǎn)生超聲波帶動(dòng)水分子跳動(dòng)，達(dá)到對(duì)硅片表面清洗的效果，提升了清洗的效率，使得清洗的更加徹底，較為實(shí)用，適合廣泛推廣與使用。