一種光電行業(yè)廢蝕刻液資源化回收利用的工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110522886.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113264513A 公開（公告）日 2021-08-17
申請公布號 CN113264513A 申請公布日 2021-08-17
分類號 C01B25/234（2006.01）I 分類 無機化學;
發(fā)明人 聶爽;何睿鳴;傾彩霞;左姣;陳國平 申請（專利權）人 新中天環(huán)保股份有限公司
代理機構 重慶強大凱創(chuàng)專利代理事務所（普通合伙） 代理人 蒙捷
地址 401120重慶市兩江新區(qū)匯金路16號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及資源回收利用領域，公開了一種光電行業(yè)廢蝕刻液資源化回收利用的工藝，其特征在于，包括以下步驟：S1將廢蝕刻液置于反應裝置中，使廢蝕刻液中磷酸濃度為62?65wt.％，將金屬沉淀物和機械雜質排出，余下的為廢蝕刻濾液；S2廢蝕刻濾液進入汽提塔，在汽提塔內的底部通入蒸汽，從汽提塔的塔頂采集提取液1，從汽提塔的塔底采集提取液2；S3從提取液1中分離出混酸，提取液1的剩余部分回流至汽提塔；S4從提取液2中分離出磷酸溶液進入刮板式薄膜蒸發(fā)器，提取液2的剩余部分回流至汽提塔；S5刮板式薄膜蒸發(fā)器頂部的氣相回流至反應裝置，從刮板式薄膜蒸發(fā)器底部采集磷酸。本工藝可將廢蝕刻液回收處理得到較高純度的磷酸，實現了資源化利用。