一種用于極高真空系統(tǒng)的鈦升華泵結(jié)構(gòu)及其使用方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210288338.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN114678252A 公開(kāi)(公告)日 2022-06-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN114678252A 申請(qǐng)公布日 2022-06-28
分類(lèi)號(hào) H01J37/32(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C23C14/26(2006.01)I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 焦紀(jì)強(qiáng);蒙峻;羅成;柴振;謝文君;楊偉順;萬(wàn)亞鵬;劉建龍;李長(zhǎng)春;魏寧?kù)?/td> 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 中國(guó)科學(xué)院近代物理研究所
代理機(jī)構(gòu) 北京紀(jì)凱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 730000甘肅省蘭州市南昌路509號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于極高真空系統(tǒng)的鈦升華泵結(jié)構(gòu)及其使用方法,包括:泵體,所述泵體的底部形成有接口;泵芯,所述泵芯套設(shè)在所述泵體內(nèi),所述泵芯的頂端與外部電源連接;若干個(gè)鈦膜沉積板,若干個(gè)所述鈦膜沉積板固定安裝在所述泵體的內(nèi)壁,所述鈦膜沉積板與所述泵芯隔開(kāi)。鈦升華泵結(jié)構(gòu)還包括冷凝管道,所述冷凝管道纏繞在所述泵體的外壁上,所述冷凝管道的一端為冷凝介質(zhì)入口,另一端為冷凝介質(zhì)出口。增加極高真空系統(tǒng)中鈦升華泵的抽氣面積,同時(shí)有效降低鈦膜沉積面的溫度,提升鈦升華泵抽速,使之能滿(mǎn)足真空系統(tǒng)中極高真空度的要求。