一種用于極高真空系統(tǒng)的鈦升華泵結(jié)構(gòu)及其使用方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210288338.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114678252A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-06-28 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114678252A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-28 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01J37/32（2006.01）I;C23C14/16（2006.01）I;C23C14/26（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 焦紀(jì)強(qiáng);蒙峻;羅成;柴振;謝文君;楊偉順;萬(wàn)亞鵬;劉建龍;李長(zhǎng)春;魏寧?kù)?/td> | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 中國(guó)科學(xué)院近代物理研究所 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京紀(jì)凱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 730000甘肅省蘭州市南昌路509號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種用于極高真空系統(tǒng)的鈦升華泵結(jié)構(gòu)及其使用方法，包括：泵體，所述泵體的底部形成有接口；泵芯，所述泵芯套設(shè)在所述泵體內(nèi)，所述泵芯的頂端與外部電源連接；若干個(gè)鈦膜沉積板，若干個(gè)所述鈦膜沉積板固定安裝在所述泵體的內(nèi)壁，所述鈦膜沉積板與所述泵芯隔開(kāi)。鈦升華泵結(jié)構(gòu)還包括冷凝管道，所述冷凝管道纏繞在所述泵體的外壁上，所述冷凝管道的一端為冷凝介質(zhì)入口，另一端為冷凝介質(zhì)出口。增加極高真空系統(tǒng)中鈦升華泵的抽氣面積，同時(shí)有效降低鈦膜沉積面的溫度，提升鈦升華泵抽速，使之能滿(mǎn)足真空系統(tǒng)中極高真空度的要求。 |
