一種晶圓裸眼檢視裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022515891.8 申請日 -
公開（公告）號 CN213184216U 公開（公告）日 2021-05-11
申請公布號 CN213184216U 申請公布日 2021-05-11
分類號 H01L21/66 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 蘇廣峰;周友 申請（專利權）人 安測半導體技術（江蘇）有限公司
代理機構 北京文苑專利代理有限公司 代理人 周會
地址 225000 江蘇省揚州市高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)南區(qū)創(chuàng)富工廠1號樓1-5層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓裸眼檢視裝置，包括晶圓承載移動裝置和支架，支架上端設置有滑軌；晶圓承載移動裝置安裝在滑軌上；晶圓承載移動裝置下端安裝有把手；晶圓承載移動裝置外部設置有由前擋板，后擋板，側擋板以及頂蓋組成的觀察箱；一側側擋板上開有觀察窗；頂蓋內側安裝有LED光源和多個防靜電離子風扇。通過LED光源以及防靜電離子風扇，營造一個單一光源的暗室和無微粒、無靜電的環(huán)境；人員通過觀察窗探入暗室內，對晶圓承載移動裝置上的晶圓進行人工檢視，在暗室環(huán)境下，單一的光源在晶圓表面產生漫反射，不會影響晶圓的檢驗，大大提高晶圓的檢驗質量和檢驗速度。