一種石墨烯碳納米管復(fù)合薄膜及其制備方法與應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201611022144.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN108070891B 公開（公告）日 2020-08-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN108070891B 申請(qǐng)公布日 2020-08-07
分類號(hào) C25D9/04;C23C16/26;C23C28/04;H01L23/492;H01L23/373;H01L23/42 分類 -
發(fā)明人 楊連喬;陳章福;徐小雪;張建華;殷錄橋;吳行陽(yáng);廖威;李起鳴;特洛伊·喬納森·貝克 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 鎵特半導(dǎo)體科技（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉星
地址 200436 上海市寶山區(qū)上大路99號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種石墨烯碳納米管復(fù)合薄膜及其制備方法與應(yīng)用，所述制備方法包括如下步驟：S1：提供一基底，所述基底整體或至少有一面的材質(zhì)為石墨烯催化劑；S2：進(jìn)行電鍍，使碳納米管附著在所述基底表面，且所述碳納米管未覆蓋滿所述石墨烯催化劑；S3：采用化學(xué)氣相法在所述基底具有所述石墨烯催化劑的一面繼續(xù)生長(zhǎng)石墨烯，得到石墨烯碳納米管復(fù)合薄膜。本發(fā)明具有工藝簡(jiǎn)單的特點(diǎn)，無(wú)需轉(zhuǎn)移的自生長(zhǎng)工藝得到的石墨烯/碳納米管復(fù)合薄膜質(zhì)量比較好，并且復(fù)合薄膜與催化基板有良好的接觸與附著。