HVPE用氣體傳輸裝置、反應(yīng)腔及HVPE設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710403458.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107267960B 公開（公告）日 2021-07-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN107267960B 申請(qǐng)公布日 2021-07-09
分類號(hào) C23C16/455;C23C16/34;C30B25/14;C30B29/38 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 特洛伊·喬納森·貝克;謝宇;羅曉菊;王穎慧 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 鎵特半導(dǎo)體科技（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 胡彬
地址 201306 上海市浦東新區(qū)泥城鎮(zhèn)新城路2號(hào)23幢N1128室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種HVPE用氣體傳輸裝置、反應(yīng)腔及HVPE設(shè)備，其中，所述HVPE用氣體傳輸裝置至少包括：含金屬前驅(qū)物氣體通路管道，屏蔽氣體通路管道，以及含氮前驅(qū)物氣體通路管道；其中：所述含氮前驅(qū)物氣體通路管道套設(shè)于所述屏蔽氣體通路管道外，所述屏蔽氣體通路管道套設(shè)于所述含金屬前驅(qū)物氣體通路管道外，形成同軸三套管結(jié)構(gòu)；所述含金屬前驅(qū)物氣體通路管道近出口處設(shè)有孔狀封端。本發(fā)明提高了含氮前驅(qū)物氣體與含金屬前驅(qū)物氣體混合的均勻性，并提高了氣流均勻性，從而提高了在襯底表面生長(zhǎng)的外延層厚度及其組分的均勻性，同時(shí)避免了含金屬前驅(qū)物氣體與含氮前驅(qū)物氣體在氣體傳輸裝置的出口處附生生長(zhǎng)。