一種用于CVD反應(yīng)爐的載具保護裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022843222.3 申請日 -
公開（公告）號 CN213752651U 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN213752651U 申請公布日 2021-07-20
分類號 H01L21/673（2006.01）I;H01L21/329（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 汪良恩;安啟躍 申請（專利權(quán)）人 安徽安芯電子科技股份有限公司
代理機構(gòu) 合肥洪雷知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 徐贛林
地址 241000安徽省池州市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)富安電子信息產(chǎn)業(yè)園10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于CVD反應(yīng)爐的載具保護裝置，涉及半導(dǎo)體器件加工技術(shù)領(lǐng)域。本實用新型包括保護蓋；保護蓋端面開設(shè)有鏤空板，鏤空板上開設(shè)有一圓孔，保護蓋側(cè)面設(shè)置有折邊，保護蓋的外壁活動設(shè)置有卡箍。本實用新型通過載具尾端安裝保護裝置，對載具進行保護，保護蓋上的圓孔與拉桿相配合將載具推入或拉出反應(yīng)爐，使其在與拉桿發(fā)生碰撞時不易受損，同時，不遮擋芯片進出爐時的視線，從而延長載具使用壽命，降低使用成本，該裝置設(shè)計、加工簡單，便于操作。