一種用于CVD反應爐的連桿支撐裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022843190.7 申請日 -
公開（公告）號 CN213752657U 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN213752657U 申請公布日 2021-07-20
分類號 H01L21/677（2006.01）I;H01L21/329（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 汪良恩;安啟躍 申請（專利權）人 安徽安芯電子科技股份有限公司
代理機構 合肥洪雷知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 徐贛林
地址 241000安徽省池州市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)富安電子信息產(chǎn)業(yè)園10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于CVD反應爐的連桿支撐裝置，涉及半導體器件加工技術領域。本實用新型包括支撐座、豎桿和連桿；豎桿垂直安裝在支撐座上表面，豎桿側壁設置有若干圓環(huán)，連桿側壁設置有連接板，連接板上端固定連接有側桿，側桿與連桿同時插入圓環(huán)內(nèi)并與圓環(huán)間隙配合，連桿側壁設置有若干掛桿。本實用新型通過將載有晶圓的載具掛在一連桿上，將連桿橫放在若干個掛桿上，再根據(jù)工藝需求選擇性地將連桿推進或拉出反應爐，持續(xù)至完成進爐或出爐過程，過程中不需要操作人員持續(xù)手持連桿，因此可同時操作多支CVD沉積反應爐的進出爐，從而減少對人力資源的需求，且結構簡單、輕便，使用后可收起，占用生產(chǎn)空間小，實用性強。