一種測試油回收裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920199459.7 申請日 -
公開（公告）號 CN209461422U 公開（公告）日 2019-10-01
申請公布號 CN209461422U 申請公布日 2019-10-01
分類號 H01L21/67;B01D1/00;B01D1/30;B01D5/00;B01D53/00;G01R31/26 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 汪良恩;孫培剛 申請（專利權(quán)）人 安徽安芯電子科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海華誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 安徽安芯電子科技股份有限公司
地址 247100 安徽省池州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)富安電子信息產(chǎn)業(yè)園10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種測試油回收裝置，包含箱體，所述箱體設(shè)有可供晶圓托盤進(jìn)出的箱門，所述箱體內(nèi)設(shè)有放置晶圓托盤的托架，箱體的底板呈斗型，底板的最低處設(shè)有接油管，接油管連接有接油箱，所述接油箱的底部設(shè)有排油閥，所述箱體上設(shè)有進(jìn)風(fēng)口和出風(fēng)口，所述晶圓托盤位于進(jìn)風(fēng)口和出風(fēng)口之間，所述進(jìn)風(fēng)口與風(fēng)機(jī)的吹風(fēng)口相連接，所述出風(fēng)口與冷凝裝置的冷凝管相連接，所述冷凝管的出油端接入冷凝油箱中。本實用新型不僅對晶圓和晶圓托盤上滴落的測試油進(jìn)行回收，還對蒸發(fā)的測試油進(jìn)行回收再利用，回收率高達(dá)95％以上，極大的節(jié)省了測試油的使用成本，且且加快了晶圓上測試油的蒸發(fā)效率，節(jié)省晶圓測試油蒸發(fā)時間，提高工作效率。