一種高純電子級溴化氫的提純方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110217412.0 申請日 -
公開(公告)號 CN112938899A 公開(公告)日 2021-06-11
申請公布號 CN112938899A 申請公布日 2021-06-11
分類號 C01B7/09 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 馬建修;杜文東;吳祥虎;靖宇;楊振建;王維佳 申請(專利權(quán))人 綠菱電子材料(天津)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津企興智財(cái)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李彥彥
地址 301714 天津市武清區(qū)河西務(wù)鎮(zhèn)三緯路南側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種高純電子級溴化氫的提純方法,原料氣依次通過中空纖維膜器、脫輕組分精餾塔、脫重組分精餾塔、成品儲罐、過濾器與充裝系統(tǒng)。本發(fā)明最大的優(yōu)點(diǎn)是,解決了傳統(tǒng)分子篩不耐酸腐蝕的問題,采用中空纖維膜器,屬于有機(jī)高分子膜,耐酸,不會(huì)帶出金屬雜質(zhì),后續(xù)經(jīng)過脫輕組分精餾塔與脫重組分精餾塔,可以去除HBr中的其他氣相雜質(zhì)如:N2、O2、Br2、HCl等,最終可以實(shí)現(xiàn)99.999%(5N級)高純電子級溴化氫。