傳感器及傳感器的制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910395482.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110319956B 公開(kāi)（公告）日 2021-09-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN110319956B 申請(qǐng)公布日 2021-09-03
分類號(hào) G01L1/22（2006.01）I;G01L9/04（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 聶泳忠 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 西人馬聯(lián)合測(cè)控（泉州）科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京東方億思知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 娜拉
地址 362000福建省泉州市洛江區(qū)雙陽(yáng)街道新南社區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實(shí)施例提供一種傳感器及傳感器的制造方法，傳感器包括兩個(gè)以上沿第一方向并列設(shè)置的感壓芯片，兩個(gè)以上的感壓芯片包括：第一感壓芯片，包括第一感壓膜及連接于第一感壓膜周側(cè)的第一側(cè)壁，第一側(cè)壁圍合形成第一開(kāi)口；第二感壓芯片，包括第二感壓膜及連接于第二感壓膜周側(cè)的第二側(cè)壁，第二側(cè)壁圍合形成第二開(kāi)口，第二開(kāi)口朝向第一感壓芯片設(shè)置，第一開(kāi)口背離第二感壓芯片設(shè)置；其中，第二感壓膜上還連接有感壓梁，感壓梁在第一方向上由第二開(kāi)口伸出，且感壓梁和第一感壓膜間隔預(yù)設(shè)距離設(shè)置，以使第一感壓膜受力變形時(shí)能夠和感壓梁接觸連接。本發(fā)明避免了以較厚的感壓膜測(cè)量小壓力的現(xiàn)象，能夠有效提高傳感器的測(cè)量精度。