金剛石保護層結(jié)構(gòu)的柔性襯底薄膜太陽能電池及制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510475317.5 申請日 -
公開（公告）號 CN105140339B 公開（公告）日 2017-10-13
申請公布號 CN105140339B 申請公布日 2017-10-13
分類號 H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0304(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張東 申請（專利權(quán)）人 遼寧國燦供電有限公司
代理機構(gòu) 沈陽銘揚聯(lián)創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 沈陽工程學(xué)院;許昌昌東科技有限公司
地址 110136 遼寧省沈陽市沈北新區(qū)蒲昌路18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及金剛石保護層結(jié)構(gòu)的柔性襯底的薄膜太陽能電池制備方法，聚酰亞胺柔性襯底上依沉積金剛石絕緣保護薄膜、ITO透明導(dǎo)電薄膜、P型InxGa1?xN量子阱本征晶體薄膜、I型InxGa1?xN量子阱本征晶體薄膜、N型InxGa1?xN量子阱本征晶體薄膜、ITO透明導(dǎo)電薄膜以及金屬Ag電極，此柔性太陽能電池最大的特點是重量輕、攜帶方便、不易粉碎，其重量比功率和體積比功率較其它種類的電池高幾個數(shù)量級。具有很好的柔性，改變了I層材料和結(jié)構(gòu)，引入具有帶隙可調(diào)的InxGa1?xN量子阱本征晶體薄膜作為I層，InxGa1?xN材料具有穩(wěn)定好，耐腐蝕且具有隧穿勢壘以及低的光損系數(shù)，提高了電池的轉(zhuǎn)化效率。采用金剛石作為保護絕緣層，抗腐蝕性進一步增強了，大大延長了薄膜太陽能電池的使用壽命。