一種硅料微波加熱冷淬干燥自動化生產(chǎn)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120368441.2 申請日 -
公開（公告）號 CN214271111U 公開（公告）日 2021-09-24
申請公布號 CN214271111U 申請公布日 2021-09-24
分類號 C30B35/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I;F26B3/347（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 張紀(jì)堯;甄崇禮;廖潔嫻;趙學(xué)燕 申請（專利權(quán)）人 山東澳聯(lián)新材料有限公司
代理機構(gòu) 淄博啟智達知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 王燕
地址 255086山東省淄博市張店區(qū)高新區(qū)魯泰大道51號高分子材料創(chuàng)新園B座1519
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種硅料微波加熱冷淬干燥自動化生產(chǎn)裝置，包括隧道式的微波加熱系統(tǒng)、冷介質(zhì)驟冷系統(tǒng)、微波干燥系統(tǒng)和物料輸送系統(tǒng)，所述物料輸送系統(tǒng)依次貫穿微波加熱系統(tǒng)、冷介質(zhì)驟冷系統(tǒng)、微波干燥系統(tǒng)，還包括抑波閘門；所述微波加熱系統(tǒng)包括加熱緩沖腔和微波加熱腔；所述加熱緩沖腔分別設(shè)置在微波加熱腔的前后兩端；所述抑波閘門配合設(shè)置在加熱緩沖腔前后兩端。與現(xiàn)有技術(shù)相比，將裝有硅料的托盤限制在兩道抑波閘門與加熱緩沖腔、干燥緩沖腔、微波加熱腔、微波干燥腔和水爆腔構(gòu)成的空間內(nèi)，通過設(shè)置物料升降機構(gòu)和龍門式機械手，減少了外來雜質(zhì)的污染，減少了對人體的輻射。