一種新型真空腔室用狹縫門閥

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210062319.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114576369A 公開（公告）日 2022-06-03
申請公布號 CN114576369A 申請公布日 2022-06-03
分類號 F16K1/20（2006.01）I;F16K1/32（2006.01）I;F16K1/46（2006.01）I;F16K31/12（2006.01）I 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機器或設備的有效運行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 張俊峰;趙子東;李青山;魏慶瑄 申請（專利權）人 上海子創(chuàng)鍍膜技術有限公司
代理機構 上海尊肅專利代理事務所（普通合伙） 代理人 -
地址 201506上海市金山區(qū)金山工業(yè)區(qū)金飛路808號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種新型真空腔室用狹縫門閥，包括閥板結(jié)構、驅(qū)動機構與防護罩，所述驅(qū)動機構包括門閥主軸、拐臂、連接軸與漲緊套，門閥主軸上裝有閥板結(jié)構，門閥主軸兩端通過漲緊套與拐臂連接；所述閥板結(jié)構設有多個且其間隔裝于門閥主軸上，每一所述閥板結(jié)構均包括密封閥板、鉸鏈連接板一、鉸鏈連接板二、鉸鏈連接板三、鉸鏈軸、調(diào)節(jié)螺絲、隔環(huán)、門閥擋圈與O型圈，其中密封閥板上設有用于放置O型圈的燕尾槽，密封閥板后端通過鉸鏈軸裝有鉸鏈連接板一、鉸鏈連接板二、鉸鏈連接板三。本發(fā)明的狹縫門閥開啟采用鉸鏈結(jié)構形式，在閥板翻轉(zhuǎn)時通過鉸鏈提升，減少了旋轉(zhuǎn)半徑，節(jié)省真空室空間。