一種取代金靶的玫瑰金色系調(diào)試鍍膜技術(shù)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911360553.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN111057995A 公開(kāi)(公告)日 2020-04-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN111057995A 申請(qǐng)公布日 2020-04-24
分類(lèi)號(hào) C23C14/02;C23C14/06;C23C14/35 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴(kuò)散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張俊峰;趙子?xùn)|;呂治斌;張大劍 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 上海子創(chuàng)鍍膜技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201505 上海市金山區(qū)金山工業(yè)區(qū)金飛路808號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種取代金靶的玫瑰金色系調(diào)試鍍膜技術(shù),它涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域。其在基片的表面通過(guò)真空磁控濺射沉積技術(shù)制備Cr打底層,加強(qiáng)基體與膜層的結(jié)合力,在第一層Cr打底層的表面產(chǎn)生一層TiCrN過(guò)渡層,保持膜層的連續(xù)性,在第二層TiCrN過(guò)渡層的基礎(chǔ)上,通過(guò)真空磁控濺射沉積技術(shù)鍍TiN過(guò)渡層,提高膜層顏色的均一性,通過(guò)真空磁控濺射濺射沉積技術(shù),使用氮?dú)狻⒁胰才c鈦靶結(jié)合在第三層TiN過(guò)渡層的表面鍍TiCN顏色層,使產(chǎn)品表面呈現(xiàn)玫瑰金色。本發(fā)明制備的每層膜都能起到不同的功能性與顏色過(guò)渡的作用,降低加工成本,實(shí)用性強(qiáng),性價(jià)比高,通過(guò)各膜層的顏色遞進(jìn)大幅度提高工件的外觀裝飾性能,應(yīng)用前景廣闊。