一種新型磁鋼可調(diào)節(jié)平面陰極
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201922413794.5 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211420297U | 公開（公告）日 | 2020-09-04 |
| 申請公布號 | CN211420297U | 申請公布日 | 2020-09-04 |
| 分類號 | C23C14/35(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 張俊峰;趙子?xùn)|;許春立;魏慶瑄 | 申請（專利權(quán)）人 | 上海子創(chuàng)鍍膜技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201505上海市金山區(qū)金山工業(yè)區(qū)金飛路808號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種新型磁鋼可調(diào)節(jié)平面陰極，它涉及真空磁控濺射設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。它包括磁鋼座、調(diào)節(jié)桿、靶殼、壓板、磁鐵、鎖緊螺母、吊掛座、靶板，磁鋼座通過調(diào)節(jié)桿吊掛在靶殼上，調(diào)節(jié)桿與靶殼的連接處通過壓板壓緊設(shè)置，壓緊處通過鎖緊螺母鎖緊固定，所述的磁鋼座上安裝有磁鐵，磁鐵采用上下內(nèi)外環(huán)形永磁體排布，外環(huán)比內(nèi)環(huán)高出8mm，所述磁鋼座通過槽分成多段，中間每段設(shè)置有六個吊桿孔，兩端設(shè)置有四個吊桿孔，調(diào)節(jié)桿穿過吊桿孔設(shè)置，通過轉(zhuǎn)動各調(diào)節(jié)桿，改變磁鐵位置。本實(shí)用新型可調(diào)節(jié)靶面范圍磁場強(qiáng)度，提高其均勻度，使靶面附近的磁場呈較為平滑地分布，使靶材較均勻地刻蝕，提高了靶材的利用率，應(yīng)用前景廣闊。?? |
