一種可調節(jié)磁鋼防水型旋轉陰極用磁棒
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201922414192.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211420298U | 公開（公告）日 | 2020-09-04 |
| 申請公布號 | CN211420298U | 申請公布日 | 2020-09-04 |
| 分類號 | C23C14/35(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 張俊峰;趙子東;許春立;魏慶瑄 | 申請（專利權）人 | 上海子創(chuàng)鍍膜技術有限公司 |
| 代理機構 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201505上海市金山區(qū)金山工業(yè)區(qū)金飛路808號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種可調節(jié)磁鋼防水型旋轉陰極用磁棒，它涉及真空磁控濺射鍍膜設備技術領域。磁鋼座裝置均勻分成有多段，每段之間開設有槽，磁鋼座裝置裝配在型腔裝置內，型腔裝置采用鋁型材型腔，磁鋼座裝置與型腔裝置之間通過調節(jié)桿連接，調節(jié)桿與型腔裝置的連接處通過壓緊螺母壓緊固定，磁鋼座裝置中安裝有邊磁鋼、中磁鋼，型腔裝置上部通過O型圈密封設置有密封蓋，型腔裝置兩端通過密封墊裝配有A軸端、B軸端，所述的型腔裝置外壁安裝有防護條。本實用新型可根據表面磁場磁場強度分段式調整磁場，使整個磁鋼座的表面磁場分布均勻，提高陰極靶的濺射速率、濺射膜層均勻性及靶材利用率，并且大大提高陰極靶的使用壽命，應用前景廣闊。?? |
