一種可調(diào)節(jié)磁鋼防水型旋轉(zhuǎn)陰極用磁棒
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201922414192.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211420298U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-09-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211420298U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-09-04 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C14/35(2006.01)I | 分類(lèi) | - |
| 發(fā)明人 | 張俊峰;趙子?xùn)|;許春立;魏慶瑄 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 上海子創(chuàng)鍍膜技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201505上海市金山區(qū)金山工業(yè)區(qū)金飛路808號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種可調(diào)節(jié)磁鋼防水型旋轉(zhuǎn)陰極用磁棒，它涉及真空磁控濺射鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。磁鋼座裝置均勻分成有多段，每段之間開(kāi)設(shè)有槽，磁鋼座裝置裝配在型腔裝置內(nèi)，型腔裝置采用鋁型材型腔，磁鋼座裝置與型腔裝置之間通過(guò)調(diào)節(jié)桿連接，調(diào)節(jié)桿與型腔裝置的連接處通過(guò)壓緊螺母壓緊固定，磁鋼座裝置中安裝有邊磁鋼、中磁鋼，型腔裝置上部通過(guò)O型圈密封設(shè)置有密封蓋，型腔裝置兩端通過(guò)密封墊裝配有A軸端、B軸端，所述的型腔裝置外壁安裝有防護(hù)條。本實(shí)用新型可根據(jù)表面磁場(chǎng)磁場(chǎng)強(qiáng)度分段式調(diào)整磁場(chǎng)，使整個(gè)磁鋼座的表面磁場(chǎng)分布均勻，提高陰極靶的濺射速率、濺射膜層均勻性及靶材利用率，并且大大提高陰極靶的使用壽命，應(yīng)用前景廣闊。?? |
