一種含鈮或鉭的有機(jī)化合物的制備方法、產(chǎn)物及應(yīng)用
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010423502.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111440210A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-07-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111440210A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-07-24 |
| 分類號(hào) | C07F9/00(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 沈芝龍;張學(xué)奇;李建恒 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 合肥安德科銘半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 寧波中致力專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 合肥安德科銘半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 地址 | 230088安徽省合肥市高新區(qū)創(chuàng)新大道106號(hào)明珠產(chǎn)業(yè)園3號(hào)樓5層E區(qū) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種含鈮或鉭的有機(jī)化合物的制備方法，能夠?qū)PrN＝M(NR1R2)3(M為Nb或Ta)的產(chǎn)率提升至60％以上，其產(chǎn)物iPrN＝M(NR1R2)3(M為Nb或Ta)具有更適合的分解溫度，在熱型ALD或PEALD制備薄膜領(lǐng)域的應(yīng)用，能夠滿足熱型ALD或PEALD對(duì)前驅(qū)體的溫度要求，能夠?qū)崿F(xiàn)了更高溫度的金屬氧化物、氮化物薄膜的ALD沉積。?? |
