一種液態(tài)雙氨基取代的乙硅烷制備方法及其產(chǎn)物的應用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011047253.6 申請日 -
公開（公告）號 CN112110948A 公開（公告）日 2020-12-22
申請公布號 CN112110948A 申請公布日 2020-12-22
分類號 C07F7/02(2006.01)I 分類 有機化學〔2〕;
發(fā)明人 唐超;張學奇;朱思坤;李建恒 申請（專利權）人 合肥安德科銘半導體科技有限公司
代理機構 寧波中致力專利代理事務所（普通合伙） 代理人 合肥安德科銘半導體科技有限公司
地址 230088安徽省合肥市高新區(qū)創(chuàng)新大道106號明珠產(chǎn)業(yè)園3號樓5層E區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種液態(tài)雙氨基取代的乙硅烷的制備方法及其產(chǎn)物在薄膜ALD沉積中的應用。該方法是在惰性氣體保護下，向反應容器中加入非極性溶劑和六氯乙硅烷，降溫至?20℃及以下，加入單取代的有機胺，反應后經(jīng)過濾、蒸餾得到雙氨基取代的四氯乙硅烷中間體，與四氫呋喃混合，降溫至?40℃及以下，再向體系中滴入含有還原劑的四氫呋喃溶液進行還原，滴加完成后將體系緩慢升至室溫，并持續(xù)攪拌，然后用非極性溶劑進行萃取，將萃取溶液濃縮、蒸餾得到純度≥99％的粗產(chǎn)品，精餾提純得到純度≥7N的液態(tài)的雙氨基取代的乙硅烷。??