一種霍爾元件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920224166.X 申請日 -
公開（公告）號 CN209389068U 公開（公告）日 2019-09-13
申請公布號 CN209389068U 申請公布日 2019-09-13
分類號 H01L43/04（2006.01）I; H01L43/10（2006.01）I; H01L43/06（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉洪剛; 孫兵; 常虎東 申請（專利權）人 蘇州聞頌智能科技有限公司
代理機構 蘇州創(chuàng)元專利商標事務所有限公司 代理人 蘇州聞頌智能科技有限公司
地址 215600 江蘇省蘇州市張家港市國泰北路1號科技創(chuàng)業(yè)園E幢204（蘇州聞頌）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種霍爾元件，包括依次層疊設置的半絕緣襯底層、緩沖層、功能層和金屬電極層，該霍爾元件還包括沿著遠離功能層的方向依次疊設于功能層上的鈍化層和保護層，金屬電極層沿著遠離功能層的方向延伸并依次穿過鈍化層和保護層。本實用新型的一種霍爾元件，通過采用銦鋁鎵磷鈍化層與功能層形成高質量的異質外延界面，可以有效鈍化功能層表面，提高了鈍化效果；同時通過二氧化硅層和氮化硅層的疊層結構，形成保護層，可以有效減小霍爾元件的表面應力。