背照式圖像傳感器及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110745996.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113451344A 公開(kāi)（公告）日 2021-09-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN113451344A 申請(qǐng)公布日 2021-09-28
分類號(hào) H01L27/146（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 宋勝金;葉國(guó)梁 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 武漢新芯集成電路制造有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 田婷
地址 430205湖北省武漢市東湖開(kāi)發(fā)區(qū)高新四路18號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種背照式圖像傳感器及其制造方法，其通過(guò)在金屬柵格的側(cè)壁設(shè)有至少兩層保護(hù)層，至少兩層保護(hù)層能夠很好的保護(hù)金屬柵格的側(cè)壁不被水汽侵蝕，進(jìn)而提升制造而成的背照式圖像傳感器的性能。