一種用于硅片表面沖洗的水刀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820896852.7 申請日 -
公開（公告）號 CN208643438U 公開（公告）日 2019-03-26
申請公布號 CN208643438U 申請公布日 2019-03-26
分類號 B08B3/02（2006.01）I; H01L21/67（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 吳文州 申請（專利權(quán)）人 浙江良精新能源股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 寧波浙成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 永嘉利為新能源有限公司;安固集團(tuán)有限公司
地址 325102 浙江省溫州市永嘉縣東甌街道和一工業(yè)區(qū)（浙江良精新能源股份有限公司內(nèi)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于硅片表面沖洗的水刀，包括刀身、設(shè)于刀身內(nèi)的多個刀孔和蓄水高壓裝置，所述的刀孔上方與蓄水高壓裝置貫通連接，多個刀孔之間間隔等距設(shè)置，刀孔下端為長扁形開口的出水口，所述的設(shè)于刀身內(nèi)的刀孔為曲線向下延伸的通水孔，所述的蓄水高壓裝置內(nèi)的水升壓后經(jīng)水管被泵入刀孔內(nèi)，升壓后的水自向下延伸的通水孔噴出后在出水口下方形成扇形噴射流。相較于現(xiàn)有使用較多帶直孔槽的水刀，本實(shí)用新型采用曲線向下延伸的通水孔，使原本直接從直孔槽噴出的柱形噴射流變成扇形噴射流，不僅增大單個水刀刀孔清洗覆蓋面積，且噴射流沖洗水壓大，沖洗效果好，同時減少直孔槽中的純水使用量，減少純水的浪費(fèi)，降低水刀使用成本。