一種用于硅片表面刻蝕沖洗后吹干的風(fēng)刀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820899192.8 申請日 -
公開（公告）號 CN208382820U 公開（公告）日 2019-01-15
申請公布號 CN208382820U 申請公布日 2019-01-15
分類號 F26B21/00 分類 干燥;
發(fā)明人 吳文州 申請（專利權(quán)）人 浙江良精新能源股份有限公司
代理機構(gòu) 寧波浙成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 永嘉利為新能源有限公司;安固集團有限公司
地址 325102 浙江省溫州市永嘉縣東甌街道和一工業(yè)區(qū)(浙江良精新能源股份有限公司內(nèi))
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于硅片表面刻蝕沖洗后吹干的風(fēng)刀，包括縱向截面為球形的儲氣空腔、多根進氣管、刀身和充氣升壓裝置，所述的進氣管沿長度方向設(shè)于儲氣空腔頂部，進氣管與儲氣空腔內(nèi)部空腔連通，所述的刀身設(shè)于儲氣空腔底部，刀身內(nèi)沿進氣管排列方向開有一條或多條相間的風(fēng)槽，所述的風(fēng)槽與儲氣空腔內(nèi)部空腔連通，所述的充氣升壓裝置將升壓后的氣體經(jīng)進氣管充入儲氣空腔后，經(jīng)刀身內(nèi)的風(fēng)槽壓出風(fēng)槽外吹干硅片表面。風(fēng)槽的設(shè)計能均勻地吹干帶有水分的硅片表面，多根進氣管排列的設(shè)計使整體風(fēng)刀在進氣和出氣過程中，不會出現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)的風(fēng)刀中進氣管附近的氣壓較大，遠離進氣管的部分氣壓不足的問題，整體風(fēng)刀的氣流和氣壓更為均勻，吹干效果更好。