一種適用于P+選擇性發(fā)射極電池的硼工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910685542.X 申請日 -
公開（公告）號 CN110600558B 公開（公告）日 2021-06-25
申請公布號 CN110600558B 申請公布日 2021-06-25
分類號 H01L31/0224;H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 瞿輝;曹玉甲;王芹芹 申請（專利權(quán)）人 江蘇順風(fēng)光電科技有限公司
代理機構(gòu) 常州知融專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 路接洲
地址 213169 江蘇省常州市武進區(qū)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)陽湖路99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種適用于P+選擇性發(fā)射極電池的硼工藝，包括以下步驟：（1）恒定源硼旋涂；（2）烘干；（3）進舟于爐管內(nèi)；（4）檢漏；（5）升溫氧化；（6）無氧推進；（7）高溫氧化；（8）降溫；（9）低溫乘積硼源；（10）低溫推進；（11）出舟；（12）激光摻雜。本發(fā)明通過恒定源硼推進與氣體硼源摻雜的共同作用，一方面形成了輕摻雜區(qū)域，擁有較高表面濃度淺結(jié)的結(jié)構(gòu)，可有效地提升電池的開路電壓和短路電流；另一方面用激光進行二次摻雜形成重摻雜區(qū)域，可有效的改善歐姆接觸，提升填充因子。