高效選擇性發(fā)射極太陽能電池?cái)U(kuò)散工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910470794.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110190153B 公開（公告）日 2021-05-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN110190153B 申請(qǐng)公布日 2021-05-04
分類號(hào) H01L31/18;H01L21/225;H01L31/068 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 瞿輝;曹玉甲;孫玉峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇順風(fēng)光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 常州知融專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 路接洲
地址 213169 江蘇省常州市武進(jìn)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)陽湖路99號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種一種高效選擇性發(fā)射極太陽能電池?cái)U(kuò)散工藝，包括：進(jìn)舟?升溫?恒溫?氧化?沉積1?推進(jìn)1?沉積2?推進(jìn)2?氧化?沉積3?升溫?降溫?沉積4?降溫?取舟。本發(fā)明通過工藝中增加高溫后氧化，低溫后沉積步驟結(jié)束后繼續(xù)升溫保持一定的高溫條件下激活磷源，隨后降溫氧化沉積吸雜富磷，該改進(jìn)的步驟可以有效的使在已經(jīng)形成的PSG中的磷源能夠繼續(xù)向硅基體中分布，另外使得PSG中富含大量的有效磷源。該工藝的改進(jìn)使得擴(kuò)散后未激光區(qū)域繼續(xù)保持低表面濃度，而激光重?fù)诫s區(qū)域?yàn)楦弑砻鏉舛?，有效的解決了未激光區(qū)域低表面濃度與激光重?fù)诫s區(qū)域高表面濃度的兼容問題；通過工藝的改進(jìn)擴(kuò)散后方阻均一性有了明顯的改善；激光重?fù)诫s區(qū)域方阻更低，金屬化接觸更好。